Informace o projektu
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
- Kód projektu
- GAP205/12/0407
- Období řešení
- 1/2012 - 12/2016
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.
Publikace
Počet publikací: 60
2014
-
Study of the thermal dependence of mechanical properties, chemical composition and structure of nanocomposite TiC/a-C:H coatings (Reprinted from Surface & Coatings Technology, vol 242, pg 62-67, 2014)
Surface & coatings technology, rok: 2014, ročník: 255, vydání: September, DOI
-
Titanium carbide/carbon nanocomposite hard coatings: A comparative study between various chemical analysis tools
Surface & coatings technology, rok: 2014, ročník: 256, vydání: October, DOI
-
Understanding of hybrid PVD–PECVD process with the aim of growing hard nc-TiC/a-C:H coatings using industrial devices with a rotating cylindrical magnetron
Surface & Coatings Technology, rok: 2014, ročník: 255, vydání: September, DOI
2013
-
Comparison of nc-TiC/a-C:H nanocomposite coatings deposited by DC magnetron sputtering at low and high flux of impinging ions
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering
PAPN 2013: Book of extended abstracts, rok: 2013
-
Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
INFLUENCE OF Cu AND Ni DOPING ON PROPERTIES OF Ti-C NANOCOMPOSITE COATING PREPARED BY HYBRID PVD-PECVD PROCESS
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
INFLUENCE OF Ni DOPING ON PROPERTIES OF Ti-C NANOCOMPOSITE COATING PREPARED BY HYBRID PVD-PECVD PROCESS
PAPN 2013: Book of Extended Abstracts, rok: 2013
-
Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Surface & coatings technology, rok: 2013, ročník: 2013, vydání: 232, DOI
-
Novel method of reactive magnetron sputtering process control
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty