Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2013
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev