On the implementation of computed laminography using synchrotron radiation

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

HELFEN L. MYAGOTIN A. MIKULÍK Petr PERNOT P. VOROPAEV A. ELYYAN M. DI MICHIEL M. BARUCHEL J. BAUMBACH T.

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Review of Scientific Instruments
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://rsi.aip.org/resource/1/rsinak/v82/i6/p063702_s1?isAuthorized=no
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova x-ray imaging; laminography; synchrotron radiation; radiography; CT
Popis Hard x rays from a synchrotron source are used in this implementation of computed laminography for three-dimensional (3D) imaging of flat, laterally extended objects. Due to outstanding properties of synchrotron light, high spatial resolution down to the micrometer scale can be attained, even for specimens having lateral dimensions of several decimeters. Operating either with a monochromatic or with a white synchrotron beam, the method can be optimized to attain high sensitivity or considerable inspection throughput in synchrotron user and small-batch industrial experiments. The article describes the details of experimental setups, alignment procedures, and the underlying reconstruction principles. Imaging of interconnections in flip-chip and wire-bonded devices illustrates the peculiarities of the method compared to its alternatives and demonstrates the wide application potential for the 3D inspection and quality assessment in microsystem technology.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info