Diagnostics of microwave discharge for surface modification
Název česky | Diagnostika mikrovlnného výboje pro modifikaci povrchů |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2010 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Potential and Applications of Thin Ceramic and Metal Coatings |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | mikrovlnný výboj - surfatron - modifikace povrchů |
Popis | Mikrovlnná plazmata za atmosférického tlaku jsou předmětem výrazného zájmu pro široké aplikace jako je kontrola znečištění ovzduší, povrchové úpravy a nebo plazmové syntézy. Ke generaci argonového mikrovlnného plazmatu za atmosférického tlaku používáme standardní průmyslový surfatron. Diagnostika takovéhoto plazmatu za různých podmínek nám pomůže najít nejlepší podmínky k modifikaci povrchů. |
Související projekty: |
|