Radial Structure of RF Discharge in Neon
Název česky | Radiální struktura RF výboje v neonu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma; capacitive; neone; discharge; optical emmision spectroscopy |
Popis | Radiální struktura nízkotlakého kapacitně vázaného vysokofrekvenčního (13,56 MHz) výboje v neonu byla měřena pomocí optické emisní spektroskopie. |
Související projekty: |