Advanced modeling of reactive sputtering process with non-linear discharge current density

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Pokročilý model reaktivního magnetronového naprašování zahrnující nerovnoměrnou proudovou hustotu
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr ELIÁŠ Marek

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chemické Listy
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova reactive magnetron sputtering
Popis Pokročilý model reaktivního magnetronového naprašování zahrnující nerovnoměrnou proudovou hustotu, článek, mezioborova studie
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info