DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Depozice tenkých vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku ve směsi N2 + HMDS + O2
Autoři

STUDNIČKA Filip TRUNEC David SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma KELAR Lukáš

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma deposition
Popis TENKÉ VRSTVY BYLY DEPONOVÁNY VE SMĚSI N2 + HMDSO + O2. TVRDOST TĚCHTO VRSTEV VZROSTLA OPROTI VRSTVÁM DEPONOVANÝM VE SMĚSI N2 + HMDSO.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info