Modeling of Radial Variation of Target Poisoning During Reactive Sputtering Deposition Process

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Modelování postupného otravování terče v průběhu reaktivního magnetronového naprašování
Autoři

VAŠINA Petr HYTKOVÁ Tereza ELIÁŠ Marek

Rok publikování 2008
Druh Článek ve sborníku
Konference 19th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases - Book of Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova reactive magnetron sputering; target
Popis Modelování postupného otravování terče v průběhu reaktivního magnetronového naprašování, sborník, mezioborova studie fyzika plazmatu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info