UV light enhanced oxidation of a-C:H thin film in air: A study of thickness reduction
Název česky | Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Optoelectronics and Advanced Materials - Rapid Communications |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | http://inoe.inoe.ro/oam-rc/ |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Amorphous carbon;Thin film;Optical properties;a-C:H;UV enhanced oxidation;Reflectance spectra |
Popis | Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky. |
Související projekty: |