Complex study of mechanical properties of a-Si : H and a-SiC : H boron doped films
Název česky | Komplexní studium mechanických vlastností a-Si : H and a-SiC : H vrstev dopovaných borem |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Non-Crystalline Solids |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Complex study of mechanical properties of a-Si : H and a-SiC : H boron doped films |
Popis | V článku se zabýváme komplexním studiem mechanických vlastností a-Si : H and a-SiC : H vrstev dopovaných borem. |
Související projekty: |