Complex study of mechanical properties of a-Si : H and a-SiC : H boron doped films

• Název česky: Komplexní studium mechanických vlastností a-Si : H and a-SiC : H vrstev dopovaných borem
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Non-Crystalline Solids
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Citace: BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Jiří BURŠÍK. Complex study of mechanical properties of a-Si : H and a-SiC : H boron doped films. Journal of Non-Crystalline Solids. Nizozemsko: Elsevier Science B.V., 2006, roč. 352, 9-20, s. 1238-1241. ISSN 0022-3093.
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Complex study of mechanical properties of a-Si : H and a-SiC : H boron doped films
• Popis: V článku se zabýváme komplexním studiem mechanických vlastností a-Si : H and a-SiC : H vrstev dopovaných borem.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů