Reduction of transient regime in fast preionized high power pulsed magnetron discharge

• Název česky: Omezení pechodového režimu pi pulzním magnetronovém naprašování
• Autoři: VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; GANCIU Mihai; BRETAGNE Jean; BOISSE-LAPORTE Caroline; DE POUCQUES Ludovic; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Europhysics Letters
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: pulsed magnetron; sputtering; preionization
• Popis: Prezentace stabilního pulzního magnetronového výboje. Pro stabilizicaci depoziního procesu byla použita preionizace.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu