Reduction of transient regime in fast preionized high power pulsed magnetron discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Omezení pechodového režimu pi pulzním magnetronovém naprašování
Autoři

VAŠINA Petr MEŠKO Marcel GANCIU Mihai BRETAGNE Jean BOISSE-LAPORTE Caroline DE POUCQUES Ludovic TOUZEAU Michel

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Europhysics Letters
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova pulsed magnetron; sputtering; preionization
Popis Prezentace stabilního pulzního magnetronového výboje. Pro stabilizicaci depoziního procesu byla použita preionizace.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info