Deposition of hard carbon films and its diagnostics
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2001 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Juniormat'01 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Popis | Deposition of hard carbon films and its diagnostics |
Související projekty: |
|