Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

MIKULÍK Petr JERGEL M. BAUMBACH T. MAJKOVÁ E. PINČÍK E. LUBY Š. ORTEGA L. TUCOULOU R. HUDEK P. KOSTIČ I.

Rok publikování 2001
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj J. Phys. D: Appl. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#MikulikJergelBaumbachMPLOTHK-JPD-2001
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova reflectivity; xrr; x-uv optics; gratings; w/si; x-ray
Popis Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with a lateral periodicity of 800 nm is performed by x-ray reflectivity in the coplanar and non-coplanar modes using a scintillation detector and a two-dimensional gas-filled detector, respectively. Three-dimensional reciprocal space constructions were used to explain the scattering features recorded in both geometries. Coplanar coherent grating truncation rods were fitted by a dynamical theory for rough gratings. Comparison of the reflectivity from the reference planar multilayer completes the study.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info