Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka ELIÁŠ Marek BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan LORENC Michal

Rok publikování 1999
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of ICPIG XXIV
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info