Informace o projektu
Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
- Kód projektu
- GA202/00/P037
- Období řešení
- 1/2000 - 1/2002
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Bude studována plazmochemická depozice ochranných vrstev v různých typech výbojů (vysokofrekvenční kapacitně nebo induktivně vázaný doutnavý výboj za sníženého tlaku, mikrovlnný výboj, bariérový výboj, atmosférický doutnavý výboj APG, plazmová tužka). Půjde především o dva typy aplikací. První z nich je připravení vrstevnatého systému chránícího polykarbonát před mechanickým poškozením a degradací ultrafialovým zářením. Za tímto účelem bude pro depozici vrstev použit některý monomer ze skupiny organosilikonů, např. hexametyldisiloxan. Výsledkem by měla být graduovaná vrstva průhledná ve viditelné oblasti, vykazující dobrou adhezi k polykarbonátu a tvrdost srovnatelnou s tvrdostí skla. Druhou významnou částí výzkumu je studium depozice velmi tvrdých vrstev jako jsou např. amorfní vrstvy diamantového typu (DLC), DLC vrstvy s příměsí křemíku, nanokompozitní vrstvy na bázi CNx a mikrokrystalické diamantové vrstvy.
Publikace
Počet publikací: 21
2001
-
Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4
-
Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
JUNIORMAT 01, rok: 2001
-
Plasma Enhanced CVD of DLC:Si(O) Films from Methane/Hexamethyldisiloxane Feeds
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
Plasma modification of polycarbonates
Surface & coatings technology, rok: 2001, ročník: 2001, vydání: 142-144
-
Stanovení povrchové energie diamantu-podobných vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje
53, ZJAZD CHEMICKÝCH SPOLOČNOSTÍ, Zborník príspevkov, rok: 2001
-
Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje
JUNIORMAT 01, rok: 2001
-
The deposition process based on silicon-organic compounds (HMDSO, TEOS) in two different types of an atmospheric barrier discharge
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
XPS and Ellipsometric Study of DLC/Silicon Interface
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4
2000
-
Deposits from Hexamethyldisiloxane in a Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure
Proceedings of HAKONE VII, rok: 2000