Informace o projektu
Tenzometrické tenkovrstvé senzory s vysokou citlivostí a životností připravované pomocí magnetronové depozice
- Kód projektu
- FW06010462
- Období řešení
- 3/2023 - 6/2026
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Technologická agentura ČR
- TREND
- Podprogram 1 "Technologičtí lídři"
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Mgr. Martin Čada, Ph.D.
- Odpovědná osoba doc. Ing. Jiří Čapek, Ph.D.
- Odpovědná osoba Ing. Pavel Mareš, Ph.D.
Projekt se zabývá přípravou nové generace tenzometrických senzorů založených na technologii tenkých vrstev pro využití v průmyslu 4.0. Projekt se zabývá redesignem všech vrstev potřebných pro funkčnost senzoru, zvýšením kvality senzorů a současnou minimalizací ceny přípravy těchto senzorů.
Publikace
Počet publikací: 1
2024
-
Aluminum tantalum oxide thin films deposited at low temperature by pulsed direct current reactive magnetron sputtering for dielectric applications
Vacuum, rok: 2024, ročník: 221, vydání: March, DOI