Informace o projektu
Termofyzikální charakterizace tenkých vrstev
- Kód projektu
- GA23-06263S
- Období řešení
- 1/2023 - 12/2025
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Český metrologický institut
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Projekt se zaměřuje na vývoj metod kvantitativní analýzy termofyzikálních vlastností tenkých vrstev a jejich systémů pomocí metod rastrovací sondové mikroskopie (SPM). To zahrnuje vývoj vhodných referenčních vzorků, vývoj nástrojů pro kombinovaná termální a elektrická měření v SPM a vývoj metodiky pro zajištění metrologické návaznosti, jak na specializovaných, tak na komerčně dostupných mikroskopech.
Publikace
Počet publikací: 2
2024
-
Determination of Optical and Structural Parameters of Thin Films with Differently Rough Boundaries
Coatings, rok: 2024, ročník: 14, vydání: 11, DOI
-
Development of a-C:H coatings doped with trimethylsilyl acetate prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition
Diamond and Related Materials, rok: 2024, ročník: 147, vydání: August 2024, DOI