Informace o projektu
Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
- Kód projektu
- MSM 143100003
- Období řešení
- 1/1999 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Výzkumné záměry
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Výsledky
Kinetika plazmochemických rakcí a procesů depozice tenkých vrstev tvrdých a supertvrdých materiálů. Absorpční a emisní spektra plazmatu obloukových výbojů.
Publikace
Počet publikací: 402
1995
-
Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures
Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology, rok: 1995
-
Fyzikální FTP archiv
17th Symp. on Plasma Physics and Technology, rok: 1995, počet stran: 2 s.
-
Kvantitativní odhad Dopplerova a Lorentzova rozšíření z profilu spektrální čáry
Proc. 17th Symp. Plasma Phys. and Technology, rok: 1995, počet stran: 1 s.
-
Likvidace oraganických látek ve vf výboji za sníženého tlaku
Plasma Chemistry and Plasma Processing, rok: 1995, ročník: 15, vydání: 3
-
Některé aspekty analýzy a fyzikální interpretace spektra LEIS
Surface and Interface Analysis, rok: 1995, ročník: 23, vydání: 8
-
The influence of ion - neutral collisions in the plasma sheath on the ion current to an electrostatic probe: Monte Carlo simulation
Contributions to Plasma Physics, rok: 1995, ročník: 35, vydání: 3
-
VF výboje ve vlhkém vzduchu
17th Symp. on Plasma Physics and Technology, rok: 1995, počet stran: 1 s.
-
Vibrační a rotační teploty kapacitně vázaných vf výbojů
17th Symp. Plasma Phys., rok: 1995, počet stran: 1 s.
-
Vliv přítomnosti neutálního plynu na rozpad rozpínajícího seplazmatu
17th Symp. on Plasma Physics and Technology, rok: 1995, počet stran: 3 s.
-
Vliv srážek iont-neutrál na iontový proud elektrostatickou sondou: simulace metodou Monte Carlo
17th Symp. on Plasma Physics and Technology, rok: 1995, počet stran: 3 s.