Hydrogenation of platinum introduced in silicon by radiation enhanced diffusion

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HAZDRA Pavel KOMARNITSKYY Volodymyr BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Science and Engineering
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Doi	http://dx.doi.org/10.1016/j.mseb.2008.11.038
Obor	Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova	diffusion; hydrogenation; platinum; silicon
Popis	Článek je zaměřen na hydrogenaci atomů platina v křemíku pomocí radiačně podporované difúze. Defekty jsou studovány zejména pomocí deep level transient spectroscopy.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek