Povrchová plazmová úprava krystalických křemíkových desek určených pro výrobu solárních článků
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2010 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Sborník příspěvků z 5. České fotovoltaické konference |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Crystalline silicon atmospheric pressure plasma surface modification |
Popis | Předkládaný článek se zabývá možností využití plazmatu za atmosférického tlaku v oblasti polovodičového průmyslu, převážně pak v oblasti výroby solárních článků. Byl zkoumán vliv Difúzního Koplanárního Povrchového Výboje (DSCBD - Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge) na změnu povrchových vlastností krystalických křemíkových desek odebraných v různých fázích výroby solárních článků. Zjistilo se, že tato úprava dokonale hydrofilizuje všechny studované povrchy (texturované, leštěné, SOX, Si3N4, po difúzi…). Volná povrchová energie byla studována metodou kontaktních úhlů. |
Související projekty: |