Morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2011 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | This paper presents the morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process. |
Související projekty: |