Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí
Autoři

DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr

Rok publikování 2010
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Sources Sci. Technol.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering
Popis Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info