Interdiffusion in Ge rich SiGe/Ge multilayers studied by in situ diffraction
Název česky | Interdufúze v SiGe/Ge multivrstvách bohatých na Ge studovaných pomocí in-situ difrakce |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2009 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Physica stat.sol.(a) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | interdiffusion; x-ray diffraction; multilayers |
Popis | Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy s obsahem Ge 70% a 90% žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 600-700 C pomocí rtg difrakce. |
Související projekty: |