Studying an influence of a nucleation phase on nanocrystalline diamond film properties
| Název česky | Studium vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Odborná kniha |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Popis | Nanokrystalické diamantové vrstvy byly deponovány v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX (2,45 GHz). Pro nukleaci diamantové vrstvy byla použita metoda využívající aktivaci substrátu pomocí energetických iontů urychlených stejnosměrným předpětím (metoda BEN). Na držák substrátu proto bylo přivedeno vysokofrekvenční napětí a díky vlastnostem kapacitně vázaného vysokofrekvenčního výboje se zde zároveň vytvořilo stejnosměrné samopředpětí. Ukázalo se, že nukleašní fáze je velice důležitá část depozičního procesu pro vznik vrstvy s dobrými mechanickými vlastnostmi. Vrstvy byly deponovány při mikrovlnném výkonu 850 W, tlaku 7,5 kPa a teplotě substrátu 1090 K. Nanokrystalické diamantové vrstvy s dobrými mechanickými vlastnostmi (tvrdost 70 GPa a elastický modul 375 GPa) byly připraveny bez předehřátí substrátu. Koncentrace metanu v plynné směsi metanu a vodíku byla 9,4% a rms drsnost vrstev byla 13 nm. Nukleační fáze a fáze růstu vrstvy byly studovány pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu, mikroskopu atomárních sil a jednotlivé mezivrstvy diamantových vrstev byly charakterizovány pomocí optických měření v ultrafialové, viditelné a blízké infračervené oblasti vlnových délek. |
| Související projekty: |