Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium rychlého pulzního magnetronového výboje - transport rozprášených ionizoných částiv v plazmatu s magnetickým polem
Autoři	VAŠINA Petr MEŠKO Marcel DE POUCQUES Ludovic BRETAGNE Jean BOISSE-LAPORTE Caroline TOUZEAU Michel
Rok publikování	2008
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	high power pulses; magnetron
Popis	Studuje transport rozprášených částic směrem od magnetronového terče buzeného pulzy velkého výkonu k substrátu.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek