Studying an influence of a nucleation phase on nanocrystalline diamond film properties
Název česky | Studium vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Acta Metallurgica Slovaca |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | nanokrystalline diamond; plasma enhanced CVD; bias enhanced nucleation; hardness |
Popis | Práce se věnuje studiu vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev. Byly určeny mechanické a optické vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly charakterizovány rovněž pomocí AFM a HRSEM. |
Související projekty: |