Deposition of protective couatings in RF organosilicon discharges
Název česky | Depozice ochranných povrchů ve vf. organosilikonových výbojích |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | In Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, 18th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | deposition-organosilicon-discharge |
Popis | cílem této publikace bylo studovat depozici ochranných vrstev ve vf. organosilikonových výbojích |
Související projekty: |