Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma FRGALA Zdeněk BURŠÍK Jiří JAŠEK Ondřej ZAJÍČKOVÁ Lenka KARÁSKOVÁ Monika MATĚJKOVÁ Jiřina REK Antonín FRANTA Daniel KLAPETEK Petr

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference E-MRS 2006 Fall meeting
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage
Popis Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info