X-ray microdiffraction imaging investigations of wing tilt in epitaxially overgrown GaN
Název česky | Studium rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN rtg mikrodifrakčním zobrazováním |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Physica stat.sol.(a) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertMikulikPernot-pssa-2006 |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO |
Popis | Krystalová kvalita v epitaxně přerostlých (ELO) GaN vrstvách a velikost rozorientace křídel jsou charakterizovány lokálně, s vysokým prostorovým i úhlovým rozlišením. K tomu jsme použili metodu plného zobrazení rtg mikrodifrakčním zobrazením, též zvaného rocking curve imaging (RCI). ELO okna a křídla mohou být jasně separována; srovnání ukazuje na zlepšení krystalinity faktorem 3–4 díky procesu laterálního přerostení. |
Související projekty: |