X-ray reflection study of early stages of Pt silicide formation

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Studium počátečních fází silicidace Pt metodou rtg reflexe
Autoři

BOCHNÍČEK Zdeněk ČECHAL Jan ŠIKOLA Tomáš

Rok publikování 2004
Druh Článek ve sborníku
Konference 7th Bienal Conference on High Resolution X-ray Diffraction and Imaging, Book of abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova silicidation; Pt; XRR
Popis Velmi časná stadia silicidace vrstvy platiny deponované na Si substrátu byla měřena s pomocí reflexe rtg záření při žíhání in-situ. Bylo zjištěno, že interdifuye mezi vrstvami začíná již za teplot nad 100stC, což je mnohem nižší hodnota, než než je teplota běžně udávaná pro počátek vzniku silicidu platiny.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info