Analytical electron microscopy of plasma deposited carbon nanostructures
Název česky | Analýza uhlíkovým nanostruktur připravných v plazmatu elektronovou mikroskopií |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 7th Multinational Congress on Microscopy |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | electron microscopy; carbon nanostructures; plasma |
Popis | Studované uhlíkové nanostruktury byly připraveny na substrátech Si s tenkou vrstvou katalyzátoru Fe dvěma PECVD metodami. V prvním případě šlo o mikrovlnný výboj za atmosférického tlaku v druhém pak induktivně vázaný vysokofrekvenční výboj. Ke studiu mikrostruktury byl použit skenovací elektronový mikroskop Jeol 6460 s EDX analyzátorem INCA a transmisní elektronový mikroskop Philips CM12 s EDAX analyzátorem. |
Související projekty: |