Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vztah mezi obsahem SiOx a vlastnostmi vrstev DLC:SiOx připravenými PECVD
Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma PEŘINA Vratislav MACKOVÁ Anna JANČA Jan
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Surface and Coating Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	DLC; PECVD
Popis	Tvrdé diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) s příměsí SiOx bylu připraveny v kapacitně vázaném vf výboji ze směsi metanu a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Byl měněn průtok HMDSO, což ovlivňovalo množství SiOx ve vrstvách. Metodou Rutherfordovského zpětného rozptylu kombinovanou s metodou ERDA bylo stanoveno kompletní atomární složení vrstev. Tloušťka a optické vlastnosti byly stanoveny z elipsometrických měření. Mechanické vlastnosti byly studovány hloubkově citlivou indentační technikou za pomocí přístroje Fischerscope H100. Poměr O/Si v DLC:SiOx vrstvách byl 0,286 a obsah SiOx se zvyšoval s rostoucím poměrem průtoku HMDSO k metanu (q). Vrstvy DLC:SiOx byly z hlediska optických vlastností v uv a viditelné oblasti podobné vrstvám DLC a vykazovaly podobně vysokou tvrdost jako DLC vrstvy pokud byl poměr q maximálně 0,25. Podařilo se ovšem zredukovat vysoké tlakové pnutí ve vrstvách, byla podstatně vylepšena lomová houževnatost a zvýšila se depoziční rychlost.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek