Planar UV excilamp excited by a surface barrier discharge
Název česky | Planární excimerní UV lampa generovaná povrchovým barrieérovým výbojem |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of physics D: Applied physics |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | surface barrier discharge; excimer radiation; plasma sources |
Popis | V příspěvku jsou prezentovány typické charakteristiky planární excimerní lampy využívající explexní molekuly KrCl* XeCl*. Excitace pracovní směsí Kr/Xe/Cl2 je realizována pomocí povrchového bariérního výboje při tlaku 0.1 - 1 bar. Byly měřeny a diskutovány spektra emitovaná plazmatem ve spektrálním oboru UV/VIS/NIR, intensita emitovaného světla v závislosti na celkovém tlaku ve výboji a složení pracovní směsi. |
Související projekty: |
|