Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
| Název česky | Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | SPIE's 49th Annual Meeting |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE5527_139.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry |
| Popis | V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice. |
| Související projekty: |