Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod
Autoři

OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav FRANTA Daniel ČUDEK Vladimír BURŠÍKOVÁ Vilma ŠILER Martin

Rok publikování 2004
Druh Článek ve sborníku
Konference SPIE's 49th Annual Meeting
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE5527_139.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry
Popis V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info