Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři

MEŠKO Marcel CICMAN Peter OHTSU Y. FUJITA H. KUDRLE Vít

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova IEDF; large area microwave plasma; sheath
Přiložené soubory
Popis Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info