Complete Characterization of Rough Polymorphous Silicon Films by Atomic Force Microscopy and the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Úplná charakterizace drsných polymorfních křemíkových vrstev pomocí mikroskopie atomové síly a kombinované metody spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan KLAPETEK Petr ROCA I CABARROCAS Pere

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/TSF455_399.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Ellipsometry; Reflection; Optical properties; Polymorphous materials
Popis V článku jsou uvedeny výsledky týkající se úplné charakterizace hydrogenovaných polymorfních křemíkových (pm-Si:H) vrstev deponovaných na podložky z monokrystalického křemíku získané pomocí mikroskopie atomové síly (AFM) a kombinované metody spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Tato kombinovaná metoda je aplikována ve formě vícevzorkové modifikace. Experimentální data jsou měřena v rámci blízké ultrafialové, viditelné a blízké infračervené oblasti (190-1000 nm). Pro zpracování experimentálních dat je využit dispersní model nedávno formulovaný pro amorfní chalkogenidové vrstvy. Tento model je založen na parametrizaci hustoty stavů elektronů. Navíc je využit pro zpracování experimentálních dat strukturní model obsahující defekty, tj. drsnost horních rozhraní vrstev, povrchové vrstvy, přechodové mezivrstvy a profil indexu lomu. Výsledky charakterizace se sestávají z určení spektrálních závislostí optických konstant p-m:Si vrstev a hodnot parametrů popisujících defekty těchto vrstev.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info