Deposition of polymer films in diffuse coplanar surface discharge
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 16th ISPC |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Deposition; polymer films;coplanar discharge |
Popis | Deposition of polymer films in diffuse coplanar surface discharge |
Související projekty: |