Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka KLAPETEK Petr BURŠÍK Jiří JANČA Jan

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of SAPP XIV
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova discharge conditions; mechanical properties; plasma deposited films
Popis Hard diamond like carbon films with insorporation of SiOx were deposited from mixture of methane and HMDSO. The Hardness, elastic modulus, interfacial fracture toughness and their dependence on the HMSDO to methane ratio were studied. The correlation between the discharge parameters and the film properties was determined.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info