Utilization of atmospheric pressure glow discharge for the deposition of thin polymer films
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | WDS'03 Proceedings of Contributed Papers: Part II - Physics of Plasmas and Ionized Media |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | atmospheric pressure glow dicharge; spectroscopy; nitrogen; organosilicon |
Popis | Utilization of atmospheric pressure glow discharge for the deposition of thin polymer films |
Související projekty: |