Plasma Deposition of Diamond-Like Protective Coating with Silicon Oxide Content

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma VALTR Miroslav HOUDKOVÁ J. PEŘINA V. MACKOVÁ A.

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference 46th Annual SVC Technical Conference Proceedings
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Wear/abrasion-resistant coatings; Plasma enhanced CVD; Stability properties; Residual film stress
Popis Amorphous diamond-like carbon films with various silicon and oxygen content were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition technique. The films were prepared from the mixture of methane and hexamethyldisiloxane in rf capacitively coupled discharges. The optimum SiOx percentage in the DLC network at which the thermo-mechanical stability of the DLC films was improved was determined.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info