Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka RUDAKOWSKI Siegmar BECKER Hans-Werner MEYER Dirk VALTR Miroslav WIESEMANN Klaus

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Acetylene; Plasma Enhanced CVD (PECVD); Optical properties; Atomic force microscopy
Popis Plazmové polymerní vrstvy byly připraveny ze směsi argonu a acetylenu plazmochemickou depozicí z plynné fáze v pulzním vysokofrekvenčním výboji. Doba pulzu "zapnuto" se měnila od 50 do 150 ms doba "vypnuto" byla konstantně 1900 ms. Kinetika růstu vrstev byla studována in-situ měření odrazivosti. Vrstvy byly dále zkoumány ex-situ spektroskopickou elipsometrií, mikroskopií atomárních sil, rastrovacím a transmisním elektronovým mikroskopem. Poškození vrstev způsobené vnitřním pnutím ve vrstvách bylo zkoumáno optickým mikroskopem. Obsah vodíku a hustota vrstev byly stanoveny metodou nukleární rezonanční reakce. Některé vlastnosti vrstev, především vnitřní pnutí, depoziční rychlost, optické vlastnosti a drsnost povrchu byly významně ovlivněny trváním pulzu. Index lomu vrstev ve viditelné oblasti byl v rozsahu 1,60-1,73. Poměr obsahu vodíku ku uhlíku byl 3:2 a hustota vrstev 0,6 g/cm3.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info