Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

CHOUKOUROV A. PIHOSH Y. STELMASHUK V. BIEDERMAN Hynek SLAVÍNSKÁ D. KORMUNDA M. ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2002
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Surface & coatings technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Rf magnetron; sputtering; SiOx; plasma polymer films
Popis Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info