Deposition of polymer films in rf discharge at atmospheric pressure
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2001 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 15th ISPC symposium proceedings, vol VI |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma; plasma pencil; discharge |
Popis | Deposition of polymer films in rf discharge at atmospheric pressure |
Související projekty: |