Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2001 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Přiložené soubory | |
Popis | Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD |
Související projekty: |
|