Technological application and spectral diagnostics of rf discharges
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1997 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Plasma physics and plasma technology |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma discharges; spectral diagnostics |
Související projekty: |