Deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS+O2 gas mixture

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan KRYŠTOF P. NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk NĚMEC Petr

Rok publikování 1995
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta Physica Univesitatis Comenianae
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info