Roll-to-roll surface etching of polymers using hydrogen plasma at atmospheric pressure

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

KRUMPOLEC Richard ZEMÁNEK Miroslav TUČEKOVÁ Zlata KELAR Jakub

Rok publikování 2018
Druh Článek ve sborníku
Konference NANOCON 2017 - Conference Proceedings, 9th International Conference on Nanomaterials - Research and Application
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www
Klíčová slova Atmospheric pressure; DCSBD; Hydrogen; Plasma etching; Polymers
Popis This paper reports on plasma surface etching of three different polymers using a low-temperature (80°C) atmospheric-pressure plasma generated in pure hydrogen by a diffuse coplanar surface barrier discharge. Flexible polymer foils were plasma-modified in roll-to-roll configuration. Three polymers, polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET), and polyimide (PI) foils were exhibited to the hydrogen plasma etching. Scanning electron microscopy was used to determine the change in the thickness of the samples from the measurement of cross-section images of polymer foils. As shown, the etching rate of tested samples was of the order of ~10-100 nm.min-1. Therefore, the presented method is suitable for precise etching of nanostructures and thin polymer film or flexible polymer substrates. © 2018 TANGER Ltd. All Rights Reserved.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info