Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KLENOVSKÝ Petr ZŮDA Jaroslav KLAPETEK Petr HUMLÍČEK Josef
Rok publikování	2017
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Doi	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.08.135
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Silicon; Surface layers; Ellipsometry; 1-kg mass standard
Popis	Studovali jsme povrchové vrstvy na monokrystalické kouli z n-typu zonálního křemíku ( 2400-2990 Ohm.cm) s průměrem 93.6004 mm. Elipsometrická spektra ve viditelné a ultrafialové oblasti dokumentují přítomnost tenkých vrstev amorfního Si a oxidu křemíku, Připravili jsme rovněž sérii plochých vzorků Si, leštěných pomocí zrn v rozsahu 1-6 mikronů; tyto vzorky byly zkoumány elipsometrickou technikou ve střední infračervené oblasti, včetně oboru poláírních vibrací vazeb Si-O. Modely povrchu koule byly testovány pomocí měření AFM.
Související projekty:	CEITEC 2020