3D Heteroepitaxy of Mismatched Semiconductors on Silicon
Název česky | 3D heteroepitaxe nepřízpůsobených polovodičů na křemíku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2014 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Thin Solid Films |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609013017057 |
Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2013.10.094 |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Monolithic integration; Epitaxial growth; Ge; GaAs; Patterned Si substrates; Scanning X-ray nano-diffraction; Room-temperature photoluminescence; X-ray detectors |
Popis | Prezentujeme metodu pro monolitickou integraci nepřizpůsoobených polovodičových materiálů s Si, s šD epitaxí. |
Související projekty: |