Lattice constants and optical response of pseudomorph Si-rich SiGe:B
Název česky | Mřížkové parametry a optická odezva pseudomorfní slitiny SiGe:B |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2013 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Applied Physics Letters |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Doi | http://dx.doi.org/10.1063/1.4830367 |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | silicon; SiGe alloys; heavy doping |
Popis | Pseudomorní epitaxní vrstvy Si1-xGex:B byly připraveny na nedopovaném (100) Si pro x<0.026 a koncentraci B 1.3E20 cm-3. Mřížkové konstanty v rovině vrstvy a kolmo na ni byly určeny pomocí symetrické rtg difrakce 004 a asymetrické difrakce 224. Vliv dopingu B a Ge byl detekován v reflexních a elipsometrických spektrech v oblasti IR-UV. Byla pozorována odezva plasmatu volných děr a Fanova rezonance fononů Si a lokalizovaných vibrací 11B a 10B. Spektrální posuv přechodů E1 byl kvantifikován. Našli jsme jednoduchou možnost testu změn obsahu Ge užitím spekter relativní reflektance. |
Související projekty: |